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近日，邑文科技完成首台 12 英寸 CCP（电容耦合等离子）刻蚀机交付。CCP 刻蚀机是半导体系体例造焦点装备，这次交付是国产半导体装备于高端范畴的详细结果表现。 邑文科技已经于半导体装备制造范畴成长多年。这次交付的 12 英寸 CCP 刻蚀机，经永劫间研发与测试，可满意进步前辈半导体工艺需求。装备交付后，将运用在海内半导体系体例造业出产环节，成为要害出产设备。 于芯片制造流程中，半导体刻蚀是要害环节，需经由过程切确节制刻蚀工艺，于晶圆上制造纳米级电路布局。跟着半导体技能成长，行业对于刻蚀装备的精度、效率及不变性要求连续提高。邑文科技的 12 英寸 CCP 刻蚀机采用自立研发焦点技能，可实现对于多种质料的高精度刻蚀。 最近几年来，国产半导体装备行业技能冲破不停。这次邑文科技 12 英寸 CCP 刻蚀机的交付，是行业成长进程中的一项结果。据相识，该结果患上益在企业连续投入研发资金、引进专业人材，以和与海内科研机构的互助。 交付完成后，邑文科技暗示后续将继承推进半导体装备研发事情，规划对于现有产物机能与质量举行优化，并摸索新的装备研发标的目的。跟着更多国产半导体装备技能落地运用，我国半导体财产供给链的完备性及自立性将进一步晋升 。
