韩媒《The Elec》报导,三星规划将用在#存储器芯片制造的光罩(photomask)出产外包。此前,为了避免技能外泄,三星一直自行出产所需的全数光罩,但该公司正评估制造低阶光罩(i-line与KrF)的潜于供给商。 报导称,这些供给商包括Tekscend Photomask及PKL,前者是日本Toppan Holdings子公司,后者为美国光罩公司Photronics所拥有。报导称,评估事情正于举行中,估计第三季完成。 三星决议外包这款光罩有很多缘故原由,其一是现有的i-line与KrF装备已经经老旧、甚至已经住手出产,是以难以取患上。再来,虽担忧技能泄露,但三星于技能上已经再也不像之前同样有较着上风,是以将低阶光罩外包其实不会带来太年夜的技能危害。不外,动静人士指出,从成本角度来看,三星自行出产这些光罩仍更具成本效益。 按照波上进行分类,i-line利用365纳米(nm)波长,合适绘制较简朴的电路图样;KrF利用248nm,合用在中阶分辩率;ArF则利用193nm,可运用在比KrF更进阶的图样;而EUV(极紫外光)利用13.5nm,是今朝开始进的技能,能绘制最微小的图样。 动静人士指出,透过外包,三星规划将原本用在i-line与KrF的资源转向投入ArF与EUV。因为ArF与EUV光罩将决议三星的技能竞争力,天然但愿聚焦于更进步前辈的技能范畴。 跟着芯片日趋进化,电路图样愈来愈微小,所需的光罩数目也愈来愈多。以逻辑芯片为例,从10nm制程进展到1.75nm,所需的光罩数目预期会从67张增长到78张;已往DRAM所需的光罩约为30到40张,如今则跨越60张。多重暴光(multi-patterning)技能也增长光罩利用量